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燃料油

燃料油B14-142

2021-04-17 13:27:29      点击:075
  • 型号燃料油B14-142
  • 密度075 kg/m³
  • 长度07494 mm
  • 20世纪六七十年代,燃料油B14-142接触式光刻机是集成电路制造的主流设备。这种机器曝光过程中掩膜版与硅片上的光刻胶直接接触,燃料油B14-142优点是可以减小光的衍射效应,缺点是会污染损坏掩膜版和光刻胶,缩短掩膜版使用寿命,且极易形成图形缺陷,影响良率。

    为了解决上述问题,燃料油B14-14220世纪70年代开始采用接近式光刻机。这种光刻机在掩膜版和硅片之间有微小间距,燃料油B14-142由于掩膜版和硅片间距越小,光刻工艺的分辨率越高,当二者间距接近几十微米时,就很难再减小,而且会受衍射效应的影响。

    1973年,燃料油B14-142美国PerkinElmer公司推出首台扫描投影光刻机。这种光刻机与以往光刻机不同在于,燃料油B14-142光刻时以成像方式将掩膜图形投影转移到硅片上,分辨率由成像系统投影物镜的数值孔径(光学术语)决定。

    因此,燃料油B14-142为了进一步提高数值孔径改进光刻机性能,燃料油B14-142人类又发明出浸液式光刻机,也就是在某种折射率大于空气的超纯液体中进行光刻,工作时好像把“晶圆”浸没在超纯液体中一样。

    燃料油B14-1423 光刻机又像机床

    光刻机又类似于一个机床,燃料油B14-142它的性能指标包括加工精度和加工速度两个方面,加工精度又可以细分为分辨率和套刻精度两个指标。

    燃料油B14-142货柜式的阿斯麦光刻机

    需要指出,燃料油B14-142光刻机的分辨率跟集成电路工艺的尺寸不是一个概念。目前,燃料油B14-142最先进的荷兰阿斯麦公司的EUV光刻机,采用的光源波长是13.5纳米的极紫外光,光刻机分辨率为38纳米,但是利用这台光刻机可以实现7纳米、5纳米等集成电路工艺。通常说的台积电或者中芯国际7纳米或者5纳米工艺,指的是集成电路工艺水平,不是光刻机的分辨率。

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